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寧波冠石半導(dǎo)體有限公司冠石科技光掩膜板制造項(xiàng)目(一期)安全驗(yàn)收評(píng)價(jià)報(bào)告

網(wǎng)站編輯：浙江圣泰安全技術(shù)有限公司 │ 發(fā)布時(shí)間：2026-01-16　

項(xiàng)目名稱(chēng)		寧波冠石半導(dǎo)體有限公司冠石科技光掩膜板制造項(xiàng)目(一期)安全驗(yàn)收評(píng)價(jià)報(bào)告
機(jī)構(gòu)名稱(chēng)		浙江圣泰安全技術(shù)有限公司
被評(píng)價(jià)單位		寧波冠石半導(dǎo)體有限公司
簡(jiǎn)介		為滿(mǎn)足市場(chǎng)及企業(yè)自身發(fā)展需求，寧波冠石半導(dǎo)體有限公司總投資193149.63萬(wàn)元于寧波前灣新區(qū)匯軫路58號(hào)建設(shè)冠石科技光掩膜版制造項(xiàng)目，項(xiàng)目建設(shè)一期生產(chǎn)廠房、主門(mén)衛(wèi)、次門(mén)衛(wèi)、垃圾房、甲類(lèi)倉(cāng)庫(kù)、液氮罐區(qū)、柴油罐區(qū)、生產(chǎn)水池、消防水池及泵房、餐廳等，通過(guò)購(gòu)置電子束光刻機(jī)、激光束光刻機(jī)、顯影機(jī)、蝕刻機(jī)、光阻涂布機(jī)、測(cè)量?jī)x等設(shè)備，可實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)12450片6英寸光掩膜版的生產(chǎn)能力。項(xiàng)目生產(chǎn)的光掩膜版分為二元鉻膜光掩膜版（傳統(tǒng)型）和相位移型光掩膜版兩大類(lèi)。其中，二元鉻膜光掩膜版（傳統(tǒng)型）屬于低階產(chǎn)品，工藝過(guò)程僅需一次曝光、顯影、蝕刻，無(wú)需光阻涂布。冠石科技光掩膜版制造項(xiàng)目（一期Ⅰ）因光阻涂布機(jī)及其配套的位置精度測(cè)量?jī)x、相位測(cè)量?jī)x、烘烤機(jī)等設(shè)備尚未安裝，故項(xiàng)目第一階段只能實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)5040片6英寸光掩膜版的生產(chǎn)能力。
項(xiàng)目組長(zhǎng)		王江偉
技術(shù)負(fù)責(zé)人		陳業(yè)鴻
過(guò)程控制負(fù)責(zé)人		王琴
評(píng)價(jià)報(bào)告編制人		王江偉、倪銀吉
報(bào)告審核人		盛瑋瑋
參與評(píng)價(jià)工作	安全評(píng)價(jià)師	王江偉、倪銀吉、戴江、潘翠珍、許可水、劉仕品、盛瑋瑋、陳業(yè)鴻、王琴
	注冊(cè)安全工程師	王江偉、倪銀吉、潘翠珍、許可水、盛瑋瑋、陳業(yè)鴻
	技術(shù)專(zhuān)家
現(xiàn)場(chǎng)開(kāi)展安全評(píng)價(jià)工作	人員	王江偉、倪銀吉
	時(shí)間	2024.8.9
	主要任務(wù)	報(bào)告編制，收集資料，現(xiàn)場(chǎng)檢查
報(bào)告提交時(shí)間		2026.1.13

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